靜電油霧凈化器采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨狀的高能離子與介質內分子（原理）發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態分子（原子）的內能，發生激發、離解、電離等一系列過程使污染介質處于活化狀態。在這種凈化處理器的內部有一些活性炭，或者是五氧化二磷等等不同的物質，這些物質都有疏松多孔的結構，所以能夠很好地容納一些大顆粒的粉塵，所以它也就具有了物理性吸附的作用。正是因為這種作用，所以使得這些大顆粒物質需要及時的清掃，否則的話就會降低處理效果。因為一些小分子的顆粒是不能夠通過物理吸附除去的，所以必須通過一些化學反應來解決這些問題，所以也就規定了處理不同的物質需要涉及到不同的化學反應。一個好的設備就應該有非常多的化學物質，能發生多種化學反應，所以處理效果也就更好。